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주사전자현미경(SEM) |
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CX-100S |
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| 주사전자현미경(SEM) - COXEM |
| CX-100S |
- 최대 30만배까지 배율조정 가능(유효배율 : 약 7만배)
- 강력한 터보펌프를 기본사양 채택
펌프의 소음이 거의 없으며, 시동 후 3분이면 측정이 가능함
- Auto Stage 채용으로 시편의 이동이 편리함
- 용이한 유지 보수를 위해 모듈방식으로 개발
- 독자 기술로 개발된 제품으로서 신속하고 저렴한 A/S를 제공함
- 다양한 Detector 탑재 가능(EDS, WDS, BSE 등)
- 비금속류의 측정을 위한 Ion Coater 자사 제품 제공
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Specification |
| Resolution |
3.0nm (30kV, SE image)
10.0nm (3kV, SE image) |
| Magnification |
x100 ~ x300,000 |
| Objective IRIS |
Variable aperture with 4 different diameters (30um,50um,100um,200um) |
| Image Shift |
±50um |
| Stage |
Manual Stage, X: 40mm, Y: 40mm, Z: 5~50mm, T: -20°~90°, R:360° |
| Sample Size |
Horizontal: 130mm, Vertical: 60mm |
| Display Mode |
Reduced window mode: 320 x 240 pixel
TV screen scan mode: 640 x 480 pixel
Slow screen scan mode: 640 x 480 pixel (3steps)
Photo screen capture mode 1: 1280 x 960 pixel
Photo screen capture mode 2: 2560 x 1920 pixel
Waveform observation mode |
| Vacuum system |
Turbo molecular pump(3분 이내 진공가능)
Rotary pump |
| Optional Detector |
EDS(Energy dispersive spectroscopy
WDS(Wavelength dispersive spectroscopy)
BSE(Backscattered Electron)
EBSD( Electron Back Scattered Diffraction) |
| Dimension & Weight |
Main system: 770(W)x880(D)x1500(H)mm, 350kg
Operation table: 850(W)x800(D)x700(H)mm, 10kg |
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