측정 테스트 과정 단순화

LEXT OLS5100 현미경의 Smart Experiment Manager*를 사용하면 시간이 많이 드는 작업을 자동화하여 실험 과정을 단순화 할 수 있습니다.

· 실험 계획을 자동으로 생성합니다.
· 실험 계획 매트릭스에 데이터가 자동으로 입력되므로 입력 시 오류가 발생할 가능성이 낮아집니다.
· 명확한 데이터 트랜드 시각화 도구를 제공합니다.
*실험 전체 지원 애플리케이션 OLS51-S-ETA가 필요합니다.

신뢰할 수 있는 데이터

LEXT 현미경 전용으로 설계된 대물 렌즈로 정확도가 높은 데이터를 얻을 수 있으므로 현미경의 측정 정확도를 보증할 수 있습니다. Smart Lens Advisor를 함께 사용할 경우, 정확도가 높은 신뢰할 수 있는 데이터를 얻을 수 있습니다.

· 405nm 파장의 빛에 최적화된 LEXT 전용 광학 기술이 수차를 낮춰 시야 전체에서 올바른 형상을 캡처합니다.
· Smart Lens Advisor는 거칠기 측정을 위해 적합한 대물 렌즈를 선택하도록 돕습니다.

클릭 한 번으로 신뢰할 수 있는 데이터 확보

세심하게 설계된 소프트웨어 덕분에 초보자와 숙련된 사용자 모두 현미경을 쉽게 사용할 수 있습니다.

· 정확한 데이터를 쉽게 얻을 수 있습니다. 스테이지에 샘플을 올려놓고 시작 버튼을 누르면 됩니다.
· 작동 환경에 맞게 조정된 측정 성능을 보증합니다.

레이저 현미경의 장점 활용

서브 마이크로 수준의 3D 관찰/측정

나노미터 범위에서 형상을 관찰하고 서브 마이크로 수준에서 높이 차이를 측정할 수 있습니다.

ISO25178을 준수하는 표면 거칠기 측정

선거칠기부터 면거칠기까지 다양한 표면 거칠기를 측정할 수 있습니다.

비접촉, 비파괴 방식의 빠른 측정

별다른 샘플 전처리가 필요 없습니다. 스테이지에 샘플을 올려 놓기만 하면 측정 준비가 완료됩니다.

LEXT^TM OLS5100 레이저 현미경 기본 원리

구성

LEXT OLS5100 현미경에는 컬러 이밎이 및 레이저 Confocal이라는 두 개의 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 이 두 시스템으로 색상 정보와 형상 정보를 얻고 고화질 이미지를 획득할 수 있습니다.

컬러 광학 시스템

컬러 이미징 광학 시스템은 백색광 LED 광원과 CMOS 이미지 센서를 사용하여 정보를 얻습니다.

3D 형상 정보 및 고화질 이미지

레이저 Confocal 광학 시스템은 405nm 레이저 다이오드 광원과 고감도 PMT를 사용하여 Confocal 이미지를 획득합니다. 이 시스템은 초점 심도가 얕으므로 샘플 표면의 불규칙성을 측정할 수 있습니다.

2405nm 레이저 광원

짧은 파장의 레이저를 사용하는 레이저 현미경은 가시 광(피크 값 550nm)을 사용하는 기존 현미경보다 평면 해상도가 뛰어납니다. OLS5100 현미경은 405nm의 레이저 다이오드를 사용하여 탁월한 평면 해상도를 제공합니다.

레이저 Confocal 광학 시스템

레이저 Confocal 광학 시스템은 샘플에서 반사되고 산란된 모든 빛을 받지 않고 핀홀을 통해 초점이 맞춰진 빛만 받아들입니다. 이를 통해 흐릿해지는 현상(blur)을 방지할 수 있으며 일반 현미경보다 명암 대비가 더 높은 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

X-Y 스캐너

광학 스캐너는 전자기 유도 MEMS 공진 스캐너를 사용하는 X축과 Galvano 스캐너를 사용하는 Y축을 통합함으로써 X-Y 스캐너를 대물 렌즈 개구를 기준으로 연결된 위치에 배치할 수 있습니다. 이를 통해 스캔한 이미지의 왜곡이 적고 광학적 수차가 거의 없는 정확한 X-Y 스캔을 수행합니다.

높이 측정 원리

높이를 측정할 때 현미경이 자동으로 초점 위치를 이동하여 여러 개의 Confocal 이미지를 획득합니다. 개별 초점 위치(Z)와 감지된 빛의 강도(I)를 기반으로 시스템은 각 픽셀에 대한 빛 강도 변화 곡선(I-Z곡선)을 그리고 피크 위치 및 피크 강도를 측정합니다. 모든 픽셀의 피크 위치는 샘플의 표면 불규칙성에 해당하므로 이것이 샘플 표면에 대한 3D 형상 정보를 나타내는 것입니다. 같은 이유로 피크 강도 데이터를 바탕으로 샘플 표면의 모든 위치에 초점이 맞춰진 이미지가 만들어집니다(확장된 이미지).

단순화된 측정 과정

Smart Experiment Manager: 빠른 작업 수행

평가 조건을 정의하면 Smart Experiment Manager가 실험 계획을 자동으로 수립하여 시간을 절약해 줍니다. 샘플을 준비한 다음 스테이지에 올려놓고 버튼을 클릭하면 시스템이 나머지 과정을 수행합니다.

입력 오류 최소화

Excel 셀에 데이터를 수동으로 입력하는 대신, 소프트웨어가 실험 계획 매트릭스에 값을 자동으로 추가하므로 데이터에 문제를 유발할 수 있는 기록 오류의 가능성이 낮아집니다. 클릭 몇 번이면 실험 데이터를 Excel 스프레드시트로 내보낼 수 있습니다.

손쉬운 데이터 접근 및 정리

실험 계획의 각 셀을 클릭하면 소프트웨어가 쉽게 기록할 수 있도록 평가 조건이 포함된 파일 이름을 자동으로 생성합니다. 각 파일에는 관련 이미지와 데이터가 포함됩니다.

데이터 경향 파악

소프트웨어가 실험 중 수집되는 데이터를 더 효과적으로 이해할 수 있도록 컬러 맵을 표시합니다. 직관적인 차트 레이아웃과 열 지도를 통해 신속하게 데이터를 시각화 할 수 있으므로 문제가 발생할 경우 조기에 더 쉽게 이를 발견하여 보정할 수 있습니다.

신뢰할 수 있는 데이터

현미경 전용으로 설계된 대물 렌즈로 정확도가 높은 데이터를 얻을 수 있으므로 현미경의 측정 정확도를 보증할 수 있습니다. Smart Lens Advisor를 함께 사용하면, 신뢰할 수 있는 데이터를 얻을 수 있습니다.

원 클릭 만으로 신뢰할 수 있는 데이터 수집

초보자도 쉽게 사용할 수 있는 사용 편의성

숙련된 사용자와 초보자 모두 Smart Scan Ⅱ 기능을 사용하여 빠르고 쉽게 데이터를 얻을 수 있습니다. 스테이지에 샘플을 놓고 시작 버튼을 누르면 현미경이 나머지 과정을 알아서 처리합니다.