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OLS4000 원리 |
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LASER CONFOCAL 현미경 |
OLS4000 원리 |
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- 일반 현미경에서는 구현 불가능한 고배율 (108배 ~ 17,280배)
- 업계 최고 분해능: Z축 1nm, XY축: 0.12um
- 세계 최초 정확도 보증
- 선명한 3차원 영상 구현
- 전문 비접촉 Roughness 측정기 |
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1. 단파장 레이저의 채택 |
일반적으로 파장이 짧을수록 이미지 구현력 즉, 해상도는 높아집니다.
OLS4000에서는 405nm의 단파장 레이저 채택으로 업계 최고의 고해상도 이미지 구현이 가능합니다. |
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2. XY스캐너 |
OLYMPUS 독자개발의 MEMS 스캐너에 의해 고속의 XY 스캐닝이 가능, 빠른 시간 안에 선명한 3차원 영상을 구현할 수 있습니다. |
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3. Confocal 전용광학계와 수광소자 |
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OLS4000의 컨포컬 광학계는 오직 초점 맞은 영상만을 취득함으로써, 일반 광학 관찰 시 발생하는 flare 현상을 없앨 수 있습니다. 게다가 미세하게 초점 맞은 영상만을 감지하는 높이 센서를 이용, 선명한 영상이 구현가능합니다. |
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4. Linear Scale Z Scan |
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OLS4000의 3차원 이미지는 대물렌즈가 Z축 방향 으로 정밀하게 Moving하여 구현됩니다. Linear scale과 Piezo drive의 기술적 결합으로 정확한 Z축 측정을 할 수 있습니다.
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5. 리얼 컬러 취득 기능 |
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명시야 관찰을 통해 컬러 정보를 수집하고, 3차원 데이터와 컬러정보를 통합하여 선명한 컬러 3차원 이미지를 구현할 수 있습니다. |
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6. 화상화 |
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OLS4000 의 이미지로는 다양한 정보를 얻을 수 있습니다. 고분해능의 3차원 정보는 물론, 실제 컬러 정보, 높이 정보 이미지 등을 통해 원하는 이미지 정보를 손쉽게 취득할 수 있습니다. |
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7. 다양한 측정 |
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Step Measurement
두개의 임의점의 높이 데이터를 구할 수 있습니다.
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Area/Volume Measurement
사용자가 지정한 수준에서의 면적, 부피를 자유롭게 측정
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Geometric measurement
원, 사각형, 다각형 등의 다양한 기하학 무늬의 높이, 각도, 길이의 측정
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Roughness measurement
샘플의 제한없이 선조도는 물론 면조도까지 손쉽게 측정
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Particle Measurement
사용자가 지정한 셋팅값에 의한 파티클의 자동 측정
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Film Thickness Measurement
투명층의 두께를 측정할 수 있는 모드 굴절율 입력으로 막두께 검츨 가능
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Auto Edge Detection
샘플너비, 지름 등을 자동으로 측정 가능합니다.
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