AL110-8 SERIES

컴팩트한 디자인의 고성능을 가진 150mm, 200mm 웨이퍼 용 웨이퍼 로더입니다.

AL110-6 SERIES
최고의 비접촉 센터링 기능을 가진 소형 웨이퍼를 위한 로더입니다. (100mm-150mm)

300mm 웨이퍼 로더 AL110-12
정도의 향상 비접촉 센터링에 의해, 웨이퍼와 장치의 접촉부를 최소화 하였습니다.
조작성의 향상 다양한 검사모드가 선택가능, 검사항목에 맞춰서 등록하는 것도 가능합니다.

AL1100 Wafer Loader

1. AL1100 is
Wafer Loader AL1100은 high-speed X-Y stage unit, Microscope unit, Auto focus unit, Macro inspection unit, high-speed safe wafer handling unit으로 구성되어 있습니다. 또한 아주 얇은wafer의 관찰이 가능합니다

미세한 단차의 edge부에서 되돌아온 산란 광만이 보임