- Automatic Model
- Industrial Spec
- Automatic X-Y Stage
- For Semiconductor Measurement
제품 사양
크기
500 x 750 x 650 mm
무게
80Kg
장비 방식
자동형 (Auto Type)
측정 시편
≤ 4"
측정 형태
비접촉식
측정 원리
반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)
특징
두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
2D,3D Mapping data Display (point by point)
Semi-automatic mechanism stage control
측정 속도 우수, 측정 방법 간편
CCD Camera + Auto Focusing
기능 사양
Stage Size
300mm x 300mm
Measurement Range
100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
Spot size
40㎛/20㎛,4㎛(option)
Measurement Speed
1~2 sec./site (fitting time)
Application Areas
All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
Option
Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Anti-vibration table
