두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
측정 속도 우수, 측정 방법 간편
기능 사양
Stage Size
200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
Measurement Range
100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
Spot size
40㎛/20㎛, 4㎛(option)
Measurement Speed
1~2 sec./site
Application Areas
All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OELD
Option
Programmable Auto Z Stage
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
CCD Camera
Transmittance Module
