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Mini SEM
SEM 기술이해
 
SEM 이미지 생성
  • 전자 빔으로 확대 관찰할 영역을 스캔 후, TV 스크린에 전송하면 이미지가 생성된다.
  • 전자 빔을 반사시켜 패턴을 형성한다는 점이 CRT의 주사 형태와 동일
  • 시료 위에서 수평 1,000개의 점, 수직 1,000개의 라인을 형성하며 전자 빔 주사하여 백만 개의 정보를 제공한다.
  • TV 스크린에도 동일한 형태로 백만 개의 점이 형성되므로 시료의 주사 표면과 TV 화면은 1:1대응
  • 주사 영역이 TV 스크린보다 작으므로 배율=TV 주사 길이/전자 빔 주사 길이의 식으로 계산된다.
  • TV 스크린 크기를 고정하면, 전자 빔 스캔 영역이 작을수록 배율은 더욱 높아진다.
주사전자현미경 Scanning Electron Microscope
전자 빔 경로
전자총(Electron Gun)
전자기 렌즈
Column의 구조
전자 빔 주사의 원리
전자, 시료간의 작용
SE; Secondary Electron
Secondary Electron
후방 산란 전자(BSE; Backscattered Electron)
후방 산란 전자
진공의 이해
진공의 활용
시료실 내부
시료 준비
Sputter Coater
Nomal-SEM과 Mini-SEM
구 분 Normal-SEM Mini-SEM
분 해 능 3.5nm 15nm
배 율 15 ~ 300,000 X 20 ~ 15,000 X
가속전압 0.5 Kv ~ 30kV 1 Kv ~ 20kV
디스플레이 2560X1920 Pixels 2560X1920 Pixels
초기 진공 30분 2분 40초
화면 획득 시료 교체 후 5~7분 시료 교체 후 2분 40초
진공장치 로타리 펌프 + 디퓨전 펌프 로타리 점프 + 터보 펌프
자동조정기능 지원 지원
검 출 기 2차 전자 2차 전자
설치환경 3㎡ 공간 필요 1㎡ 공간 필요
이 동 성 이동이 곤란함 자체이동 가능
Mini-SEM 사양
항목 / Model SNE - 1500M
배율 20-15,000X
고전압 20kv
Observation mode Standard mode / Auto mode / Manual mode
시료대 이동거리 X : 20mm / Y :20mm / R : 360
최대시료크기 75mm in Diameter
최대시료높이 12mm
Electron Gun type Pre-Centered Cartridge Filament
Detection System Secondary Electron
Auto Image Adjustment Function Auto Start / Auto Focus / Auto Contrast / Auto Brightness
Frame Memory 640 x 480 /1280 x 960 / 2560 x 1920 Pixels
Image Data Memory HDD of PC and Other Recording Medium
영상저장방식 BMP / JPG / PNG / GIF
영상저장정보 Date / Time / Scale Bar / HV / MG
진공System Turbo Molecular pump 70L/s --1 unit
Rotary Pump 100L/min -- 1 unit
안전장치 Over-current protection function
Main Dimension 가로 490mm
세로 520mm
높이 540mm
무게 60kg
운영 Software Windows XP
운영 PC Note Book / Desk Top