선택가능한 두개의 두뇌(Dual-Engine)로 생각하는데로 제어가 가능 사람의 두뇌처럼 생각회로를 가진 반도체 검사현미경이 있다면, 생산이나 연구의 자동화는 기존의 획일적 방식과는 달리 한층 유연한 방식이 될것입니다. 올림푸스는 검사,분석에 최고의 솔루션을 제공하기 위해 Inspection-Engine과 Analysis-Engine, 2개의 두뇌(Dual-Engine)를 준비, 두개의 두뇌가 MX61A의 고성능을 최대한으로 끌어내어, 요구에 맞는 유연한 자동화, 요구의 진화에 걸맞는 손쉬운 확장을 실현하였습니다.
MX61A의 스탠다드 조합 탑재시스템 - 다양한 관찰법에 대응가능한 AF시스템
웨이퍼 검사의 효율성 추구 탑재시스템 - 여러가지 관찰법에 대응가능한 AF시스템 웨이퍼검사를 효율화하는 자동반송시스템 한손으로 조작가능한 전동미분간섭시스템
부드러운 라이브관찰과 디지털화상기록을 추구 탑재시스템 - 여러가지 관찰법에 대응가능한 AF시스템 웨이퍼검사를 효율화하는 자동반송시스템 라이브 화상을 보면서 검사하는 이미징시스템
디지털카메라의 동시제어를 실현 탑재시스템 - PC에서도 핸들스위치에서도 제어가능한 AF시스템 300mm웨이퍼 대응의 전동스테이지 시스템 PC에서도 핸들스위치에서도 제어가능한 전동미분 간섭시스템 디지털카메라도 PC에서제어하는 이미징 시스템
심자외선부터 가시선까지 자동제어를 실현 탑재시스템 - PC에서도 핸들스위치에서도 제어가능한 AF시스템 300mm웨이퍼 대응의 전동스테이지 시스템 풀오토제어를 가능케한 심자외선관찰시스템 신뢰성 높은 DUV전용 대물렌즈의 채용
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