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제품소개

광학현미경

반도체/ LCD검사 현미경

MX51

반도체 / LCD검사 현미경

MX61/ MX61L

전면에 장착된 컨트롤러로 빠르고 효과적인 오퍼레이팅을 할수 있습니다..

AS (Aperture Stop)의 조작과 컨트라스트의 조정, 렌즈 선택과 관찰방법의 선택등을 전면의 컨트롤 버튼으로 손쉽게 처리할수 있습니다.
손가락 하나로 바로바로 오퍼레티이팅이 가능하기 때문에 작업 효율면
에서 탁월한 현미경입니다.?

엄지손가락의 위치에 AS와 렌즈교체버튼이 있어서 손쉽게 바꿀수 있고
스테이지 부에 손을 가져갈 필요가 없습니다. 또한 오퍼레이팅 실수를
최소화한 버튼 위치로 업무 효율성을 극대화한 현미경입니다.

모든 관찰 위치에서 관찰 가능한 trinocular tubes

의자 높이 등에 의해 기존 현미경의 눈의 위치와 접안렌즈의 위치가 달라
지면 작업자의 작업능력은 자연히 떨어지게 됩니다.
이와 같은 경우, MX61/61L을 사용하면 0°에서 42°까지 자유롭게 접안렌즈
의 각도를 조절 가능합니다. (가능 높이: 150mm,SEMI S8 대응 가능)
따라서 가능 편안한 자세에서 이미지 상의 변화 없이 간편하게 관찰할수
있을 뿐만 아니라, 서서도 관찰을 할수 있으므로 편리하게 사용할수
있습니다. 또한 튜브 역시 거리가 충분하여, 라지 스테이지에서도 쉽게
관찰할 수 있습니다.

SEMI S2/S8 장착으로 높아진 안전성

MX61/61L은 SEMI S2/S8와? CE, 그리고 UL등의 장착으로, 더욱 안정적으로 관찰을 할 수가 있습니다.

청정등급 1 등급: 먼지 제거의 여러가지 기능 탑재

모든 장착부품들은 청정등급 1등급에서 알맞는 먼지제거 기능이 있습니다.
(리볼빙 노스피스의 경우 청정 1등급에 해당하는 별도의 모델이 있습니다.)

MX61 은 200mm의 웨이퍼까지 대응 가능하고MX61L의 경우 같은 면적의
현미경으로 300mm 웨이퍼까지 대응 가능합니다.

또한 시스템의 크기는 놀랄만큼 컴팩트합니다. 높이는 537mm이며,
램프하우징의 위치까지는 677mm에 불과합니다.?

정전기방지기능이 탑재된 최고의 구조

정전기 방지기능이 프레임, 튜브, 보호쉴드 등 부품들에 탑재되어 있어 웨이퍼의 오염을 최소화합니다

안전하고 빠른 웨이퍼 감사

MX61/61L모델에 웨이퍼 로더가
장착 가능합니다.?
사이즈의 큰 변화없이 효과적이고
안전한 관찰이 가능합니다.
또한 전면, 후면 검사를 자동으로
할수 있으므로, 전면에 한번 웨이
퍼를 셋팅함으로써 효과적인 검사를 빠르게 할 수 있습니다.

MX61/MX61L specifications
Model	MX61	MX61L
Optics	UIS optics (infinity-corrected system)
OpticsMicroscope stand	Reflected light illumination (F.N. 26.5) 12V, 100W halogen lamp (pre-centering type) Brightfield/darkfield mirror plus 1 cube (option), exchange method Built-in motorized aperture diaphragm (Pre-setting for each objective, automatically open for darkfield observation) *Transmitted light illumination (F.N. 26.5)** When transmitted illumination unit MX-TILLA or MX-TILLB is combined. Illumination by light source LG-PS2 and light guide LG-SF (12V,100W halogen lamp) or their equivalent. ? MX-TILLA: condenser (N.A.0.5), with aperture stop ? MX-TILLB: condenser (N.A.0.6), with aperture stop and field stop Observation methods* ①Reflected light brightfield ②Reflected light darkfield ③Reflected light Nomarski DIC ④Reflected light simple polarizing ⑤Reflected light fluorescence ⑥Reflected light IR ⑦Transmitted light brightfield ⑧Transmitted light simple polarizing Separate (optional) cubes are required for ③,④ and ⑤. ⑦ and ⑧ require combination with a transmitted illumination unit.
Observation tube	Super widefield erect image tilting trinocular tube (F.N.26.5): MX-SWETTR Others: Super widefield trinocular tube/Widefield binocular tube	Super widefield erect image tilting trinocular tube (F.N.26.5): MX-SWETTR or U-SWETTR (MX-SWETTR is equipped for MX61L as standard.)
Revolving nosepiece	Motorized sextuple revolving nosepiece with slider slot for DIC: U-D6REMC Motorized quintuple BD revolving nosepiece with slider slot for DIC: U-D5BDREMC Motorized centerable quintuple revolving nosepiece with slider slot for DIC: U-P5REMC Forward rotation by objective exchange button on the front panel of microscope, or directly by hand switch U-HSTR2 (user designation)
Stage	MX-SIC8R 8"x8" stage Stroke: 210x210mm Transmitted light illumination area: 189x189mm) MX-SIC6A 6"x6" stage Stroke: 158x158mm (Reflected light use only)	MX-SIC1412R2 14"x12" stage Stroke: 356x305mm (Transmitted light illumination area: 356x284mm) combination with MX-TILLB
Power consumption	Built-in reflected light source body 100-120/220-240V~1.9/0.9A 50/60Hz, Transmitted light source (LG-PS2) 100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60Hz
Dimensions/weight	Dimensions: approx. 509(W) x 843(D) x 507(H)mm Weight: approx. 40kg (microscope stand only approx. 27kg)	Dimensions: approx. 710(W) x 843(D) x 507(H)mm Weight: approx. 51kg (microscope stand only approx. 31kg)