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반도체/ LCD검사 현미경 |
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MX51/MX61L |
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| 반도체 / LCD검사 현미경 |
| MX51 |
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MX51: 산업체 전용으로 보다 편리하고 빠른
관찰 가능하여 업무 효율성을 높힌 현미경
입니다. |
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| 실제적인 관찰에 집중한 현미경으로 많은 종류의 관찰이 가능합니다. |
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최신의 UIS 광학계가 작은 불량까지도 잡아냅니다.
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명시야/암시야 관찰에서 기존보다 4배 강화된 상으로, 빠르고 정확한 불량 검사가 가능합니다.? 작은 센서나 그밖의 고성능의 장비에 에 사용되는 웨이퍼의 작은 홀 등에서 눈에 띄게 탁월한 상을 관찰할 수 있습니다.
*대물렌즈와 광원장치를 한 SET로 구매하시는 것이 좋습니다.
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근적외선 관찰에서 형광까지 다양한 관찰법이 가능합니다.
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일반 일루미네이터에서도 (BX-RLA2) 일반 명시야, 암시야, DIC외에 근적외선 관찰이 가능하도록 할 수 있습니다. 유니버셜 일루미네이터(BX-URA2) 또한 형광 관찰이 가능합니다.
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| 투과 관찰 가능 |
| 100X100mm의 광원장치를 사용하면, 150mm의 스테이지에, 2mm의 두께 샘플의 관찰이 가능합니다. 미세한 흠집도 관찰가능한 슬림한 광원장치는 MEMS 센서와 같은 부품 관찰에 탁월한 성능을 발휘합니다. |
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Intermediate attachment raises objectives to accommodate thick samples.
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The standard maximum sample thickness is 30mm.
Insert the intermediate attachment to accommodate
thicker samples. |
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| 활용성: 최소의 비용으로 최대의 효과를 낼수 있습니다. |
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wafers loader 장착 가능
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AL110-6 시리즈의 웨이퍼 로더를 사용하면
자동으로 150mm의 웨이퍼의 전면, 후면
검사를 할 수 있습니다. |
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고분해능의 컨포칼 모듈로 하이 컨트라스트의 관찰이 가능합니다.
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컨포칼 모듈(U-CFU)을 장착하면, 하이컨트라스트의 고분해능 관찰이 가능합니다.
따라서 이 모듈을 장착하면, 다층의 전자부품의 관찰이 가능합니다. |
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| 경제적인 디지탈 이미지 시스템 |
다양한 올림푸스 디지탈 카메라를 장착할수 있고, 비디오카메라도
장착 가능합니다. <사진: DP12 카메라가 장착된 모습>
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| 중간부품을이용하면 두꺼운 샘플 관찰이 가능합니다 |
표준샘플의 최대높이는 30mm입니다.
중간 부품을 삽입하면 두께있는 샘플도 손쉽게 측정할 수 있습니다 |
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| MX51 specifications |
| Optics |
UIS Optics (infinity-corrected system) |
| Microscope stand |
2-guide rack and pinion method
Coarse and fine co-axial Z-axis control stroke 32mm (2mm upper and 30mm below from the focal plane)
The same stroke 15mm (combination with transmitted illumination)
Stroke per rotation of fine Z-axis control 0.1 mm (1 unit 1￥im)
Coarse handle torque adjustment
Coarse handle upper limit lever |
| Illumination |
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BX-KMA Brightfield illuminatior |
BX-RLA2 Brightfield/Darkfield illuminator |
BX-URA2 Universal Fluoresccence illuminator |
| Contrast changeover method |
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BF-DF slide method |
Mirror (Max. up to 6) turret motheod |
| Applicable observation mode |
Brightfield
Normaski DIC
Polarized light |
Brightfield
Darkfield
Normaski DIC
Polarized light
IR |
Brightfield
Darkfield
Normaski DIC
Polarized light
Fluorescence |
| Lamphousing |
6V30W Halogen
Lamp socket: U-LS30-4
Transformer: TL-4 |
12V100W Halogen
Lamphouse: U-LH100L-3
Power supply is integrated in MX51 |
Mercury lamp house: U-LH100HGAPO
External power supply BH2-RFL-T3 needed |
| Transmitted illumination |
Brightfield MX-TILLK combined with fiber light guide illumination (configured with MX-SIC6R2) |
| Power supply unit |
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Rated voltage: 100-120/220-240V~1.8A/0.8A 50/60Hz
Continuous light intensity dial |
| Observation tube |
U-BI30-2 Widefield binocular, U-TR30-2 Widefield trinocular, U-ETR3 Widefield erect image trinocular (F.N. 22)
U-SWTR Superwidefield trinocular, MX-SWETTR Superwidefield erect image tilting trinocular (F.N. 26.5) |
| Revolving nosepiece |
U-5RE-2, U-6RE
U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (with slider slot for DIC Prism) |
| Revolving nosepiece |
U-SIC4R2/SIC4L2 Coaxial right/left-hand control 4"X4" stage |
MX-SIC6R2 Coaxial right/left-hand control 6"X6" stage |
| Stage |
Drive method: rack and pinion method
Y axis stopper: lever method |
Drive method: Belt method
Stroke: 158(X) X158 (Y) mm
Clutch method: 2 clutch plates (Built-in-clutch ON/OFF handle)
Holder dimensions: 200 X 200mm
Transmitted light area: 100 X 100mm |
| Dimensions/weight |
Dimensions: Approx. 430(W) X 591(D) X 495(H)mm Weight: Approx. 26kg (Stand Approx. 11kg) |
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