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정립/산업현미경제품 |
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BX41 |
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| 정립/산업 현미경 제품 |
| BX41 |
| power bx series |
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system구축 및 장치조합의 자유도를 향상시킨 arm일체형 반사투광관
철저한 인체공학의 추구에서 만들어진 y형디자인에서 더 나아가 arm 일체형 반사투광관이라고하는 새로운 개념으로, 지금까지 없던 system의 자유도와 장치간의 조합을 용이하게 실현시켰습니다. uis무한보정광학계의 최고급상이 공업분야의 다양한 검사 요구에 고해상으로 대응합니다.
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가시영역에서 근적외영역까지의 폭넓은 관찰 가능 |
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esd대응 |
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전동대응 |
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장치조합가능
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| special features |
ㅁ 세계 최고 품질에 더욱 박차를 가하여 만들어진 uis광학system.
ㅁ 인체공학적 디자인을 더욱 발전시킨 y형의 세련된 디자인.
ㅁ 기능성을 추구한 다양한 acc's로 각종 검사요구에 정확히 대응.
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세계최고레벨의 상을 더욱 더 발전시킨 uis광학 system |
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명시야에서 형광까지의 모든 관찰법에 대응하는 universal 대물렌즈
명시야, 암시야 , 미분간섭, 간이편광, 형광관찰에 적용할 수 있는 universal 대물렌즈 umplanfl/umplanfl-bdp를 준비하였습니다. 모든 관찰법에 있어서 최상의 상을 구현하였습니다.
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sample을 최고의 상으로 보여주는 미분간섭 system
전자장비 검사에 빠질 수 없는 미분간섭 관찰. sample의 상체에 맞추어 언제라도 최적의 해상도와 contrast를 얻을수 있도록 되어있습니다. 모든 것에 사용 할 수 있는 u-dicr, 고해상도를 추구하는 u-dicrh, high contrast를 추구한 u-dicrh 등 3종류의 dic 프리즘이 준비되어 있고, 모두 slider방식의 single prism이므로 연속한 배율에서의 관찰시, 관찰이 용이하고 다른 관찰방법으로 변환이 부드럽습니다.
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고배율대응 as에 의해 저배에서 고배까지 연속적으로 조리개 사용 가능
높은 as 조리개의 성능을 갖는 명시야 반사 투광관 bx-rls2를 사용하면, 초고배율관찰에서 불가결하던 종래의 pin hole 삽입조작이 없이도 연속적으로 조리개 조정이 가능하여, 초점심도가 깊은 high contrast 의 관찰상을 얻을 수 있습니다. 또 초고배율에서 작동 거리가 긴 apocromat 대물렌즈 150×, 250×를 준비하여 렌즈 선단이 sample과 접촉하는 염려를 줄였습니다.
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이전보다 2배의 밝기를 실현한 암시야 관찰
명시야 관찰시에 사용하던 dnd filter를 폐지하고 더욱더 집광성능을 향상시킴으로, 명시야와의 밝기 밸런스를 유지한 채로 이전보다 약 2배 밝은 암시야 관찰상을 얻을 수 있습니다. 높은 암시야 효과에 의하여 놓치기 쉬운 흠과 먼지도 선명하게 파악할 수 있습니다.
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초미세검사에 최적인 plan apocormat 대물렌즈
색수차를 철저히 제거한 고해상 대물렌즈 mplanapo/mplanapo-bd를 준비하였습니다. 색의 배어남이 없고 high contrast인 관찰법을 통해 미세한 선폭도 선명하게 관찰이 가능합니다.
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glass 너머의 관찰을 가능하게 하는 glass 보정 대물렌즈
lcd기판등 glass를 통하여 관찰이 가능한 대물 렌즈로 lcplanapo20×,50×은 0.7/1.1㎜ 두께의 glass 보정 cap방식, lcplanfl100×lcd는 0.6～1.2㎜까지의 보정환 방식입니다.
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요철이 큰 sample관찰에 최적인 super working distance렌즈
20 ×에서21㎜ 、50 ×에서15㎜의 큰 작동거리를 구현한 초장(超長) 작동거리 대물렌즈 slmplan을 준비하였습니다. jig상에 설치된 자기헤드의 관찰 등에 위력을 발휘합니다.
모든 application에 충실한 대물렌즈 |
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인체공학적인 디자인을 더욱 진화시킨 y-type의 세련된 디자인 |
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더욱더 compact한 y-type의 세련된 디자인
현미경 본체의 좌우에 넓은 작업 space를 확보, 안쪽길이를 더욱 짧게한 y-type의 세련된 디자인. lamp house의 형상도 안쪽길이를 억눌러, 좁은장소에서의 설치를 더욱더 용이하게 되었습니다. 주변기긱를 현미경의 옆에 놓고 편하게 작업을 할 수 있습니다.
조작부의 이상적인 배치가 장시간 작업에서의 피로를 경감
피로가 없는 이상적인 외형으로소, 압도넉인 지지를 얻고 있는 y-type의 세련된 디자인이 어욱더 조작성을 향상. 손목을 책상에 놓은채로 조작을 편하게 행할 수 있다. 현미경검경 조작에 큰 손의 움직임을 필요로 하지 않는다. |
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핀트 조정을 편하게 행하고, 좌우 추가부착 가능한 미동핸들
focusing의 미동핸들을 떼어내어 움직임이 편한 좌우 어느쪽에서도 부착하는 것이 가능합니다. 미동 핸들은 고무로 된 코팅이 되어 있어 손의 끝으로 가볍게 작도 미동감도가 높아 고배의 핀트 조정에 있으서도 부드럽게 행할 수 있습니다.
명기야, 암시야의 변환시에 nd filter가 연동
명시야 반사 투광관은 관찰의 변환시에 nd filter가 연동하여 밝기의 급격한 변화에서 관찰자의 눈을 보호합니다. 이 연동기구는 필요시 제거 하는 것도 가능합니다.
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관찰자세를 편안하게 유지시켜주는 경통 tilting line-up
쌍안은 u-tbi/u-etbi, 삼안에는 u-swettr의 각종 tilting경통을 준비하였습니다. 목을 무리하게 숙이지 않아도 관찰자의 eye-point를 얻을수 있기 때문에 장시간 관찰에서의 부담을 대폭 경감시킬 수 있습니다.
연동하는 polarizer, analyzer slider의 삽탈이 one-touch
미분간섭에서 명시야 등의 관찰방법의 변환에서 polarizer/analyzer slider를 한번에 삽탈할 수 있어 빠른 관찰변환이 가능하게 되었습니다. 또 polarizer/analyzersms 반사투광관의 좌우 어느쪽에서도 slide in-out 할 수 있게 되어 있습니다.
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기능성을 향상시킨 다채로운 accs로 각종 검사 요구에 적합하게 대응 |
공업용현미경 전용stage와 각종 plate
공업용현미경 전용의 대형 스테이지 u-sic4r2/u-sic4l2를 준비하였습니다. 100×100㎜의 stage-plate u-mssp4와 4인치/3인치 웨이퍼 홀더 bh2_whr43을 장비할수 있는 plate u-whp2, maskholder로서도 사용할 수 있는 투과관찰용의 glass plate u-msspg등이 준비되어 있습니다. |
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guide돌출함이 없는 rack-less stage
x축 이동시 예리한 rack기어가 돌출하지 않는, 독자의 rack-less stage u-svrm/u-svlm을 이용합니다. stage주위가 항상 여유공간이 확보되어 있어 현미경 조작에 대한 방해가 없습니다. stage에는 76×50㎜의 stage plate u-ssp가 준비되어 있습니다.
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표준사양으로 최대시료높이 65㎜까지 관찰 가능하며 65㎜를 넘는 sample도 관찰 가능
반사전용 type의 bx41m/bx51m은 기본적으로 sample 두께 65㎜까지 관찰 할 수 있고, arm일체형 반사투광관 채택으로 spacer등을 사용하면 간단하게 증축을 행하여 65㎜가 넘는 두께의 sample관찰이 가능하게 됩니다. |
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direct로 배율변환이 가능한 전동 revolver
간단한 핸드스위치 조작으로 직접 원하는 대물렌즈로의 변환이 가능한 전동revolver u-d6rem과 u-d5bdrem로 관찰효율을 향상시킬 수 있고, sample에 먼지가 낙하하는 것을 억제할 수 있습니다. 모든 반사 투광관에 부착이 가능합니다.
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대물렌즈간에 완전히 같은 중심축을 유지할 수 있는 revolver
3개의 대물렌즈간에 완전한 동심이 얻어질수 있도록 2개소에 coaxial 기능을 추가한 coaxial quintuple bd revolver u-p5bdre와 sextuple revolver u-p6re를 준비하였습니다. 저배율에서 고배율까지 대물렌즈를 변환하여도 상의 중심이 벗어나지 않기 때문에 효율성 있는 검사가 가능합니다.
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자외선 차단 등 각종 filter를 준비
자외선 차단, 색온도 변화, contrast강조, yello등의 각종 filter-slider를 준비하였습니다. |
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다양한 조명에 대처하기 위하여 |
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모든 반사투광관에 적합한 fiber조명
fiber type 냉광조명을 모든 반사투광관에서 사용할 수 있고 광원에는 12v100w halogen의 lg-ps2가 있습니다. bx-kma용에는 szx-tlgad, 그 외의 반사투광관용에는 u-lgad adapter를 사용하여 주십시오.
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다양한 광원에 적합한 조명 system
수은과 크세논광원에는 가시광에서 근적외광까지의 색수차를 보정한 apo type을 사용하며, 밝고 긴수명, 경제적인 50w의 metal halide type도 있습니다. 용도에 맞게 선택하여 주십시오. |
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| 간단한 계측을 하기 위하여 |
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치수를 바로 읽을 수 있는 접안이동 측미계
쌍안부에 부착하여 간단하게 치수측정이 가능한 소형,경량의 접안이동측미계 u-osm. micrometer에서 scale을 이동시켜, 측정길이를 대물렌즈의 배율로 나누는 것만으로 정밀한 실치수 측정이 가능합니다. |
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sample화상을 시행착오 없이 기록하기 위하여 |
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고해상도 현미경 화상을 digital로 간단하게 기록
2/3인치 250만 pixel 원색 progressive ccd camera를 채용한 고해상도의 digital camera dp11. 선명한 색재현으로 1727×1382화소의 고해상도 화상을 기록할 수 있습니다. camera box 전면에 설치되어있는 액정 모니터를 확인하면서 focusing과 촬영을 간단하게 할 수 있습니다. 화상 data는 내장 smart media와 compact flash 메모리에 직접 보존되어 computer 와의 data hand-link가 용이합니다.
형광촬영이 가능한 현미경 digital camera
digital camera dp50은 독자적 화상보간 기술로560만 pixel 상당의 고해상도 화상을 얻는 것이 가능합니다. 명시야에서부터 형광과 같은 어두운 표본까지 폭 넓은 대응이 가능합니다. gui가 우수한 software에 의해 간단하게 화상을 획득하고 filing을 부드럽게 행할 수 있습니다.
compact type에서 형광의 full-auto까지 선택가능한 사진촬영장치
compact한 고기능의 pm10sp, 명시야에서 형광까지 폭넓게 사용 할 수 있는 pm20, 형광의 full-auto촬영이 간편한 pm30 등 용도에 적합하게 선택할 수 있습니다. 은염사진에서는 선명한 화상이 기록가능합니다.
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자동노출 사진촬영장치
/pm10sp |
전자동현미경 사진촬영장치
/pm20 |
전자동현미경 사진촬영장치
/pm30 |
1%spot과 ae lock, 3단계의 film
특성보정 등 고기능을 compact
하게 정리하였습니다. |
형광사진의 자동노출촬영을
가능하게 한 fl auto-mode를
탑재. 다기능, 소형화를 실현
하였습니다.
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형광사진의 전자동 노광을 가능
하게 하는 super fl auto-mode
를 탑재. 통상의 auto mode에
변환하면 형광이외의 sample도
자동으로 촬영이 가능합니다.
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| esd 대응 |
우수한 기본성능을 바탕으로 현미경본체, 반사투광관, revolving nosepiece의 조작부, 표면 등을 esd대응으로 만들었습니다.
작업자 및 대기중에 포함된 정전기를 빠르게 방전하고, 정전기로부터 장비를 보호합니다.
작업공간을 배려한 y-type의 세련된 디자인과 compact한 lamp house에 의한 small space를 구현하였습니다.
또한 신개발품인 30w의 hallogen광원의 채택으로 50w halogen에 필적하는 밝기에 2000시간의 긴 수명을 실현하였습니다.
esd 성능 : 표면저항108ω이하, 제전(除電)시간0.2sec이하
반사명시야, 간이편광, 미분간섭관찰이 가능합니다.
spec및system diagram |
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| 장치편입대응 |
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장치내장에 적합한 소형명시야투광관의 bxfm-s,arm일체형의 명암시야 및 형광투광관을 부착가능한 bxfm의 2종류를 준비하였습니다.
어느쪽도 fiber조영과 전동revolver, 결상렌즈unit등의 조합이 가능한 폭넓은 system으로 장치에의 조합을 간편하게 할 수 있습니다. |
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장치에의 편입을 용이하게 하는 소형의 focusing unit system, fiber조명, 전종 revolver, 결상렌즈 등의 各種의 unit을
준비하였습니다.
투광관일체형 arm의 채용에 의해 장치에의 편입을 간단하게 행할수 있습니다.
100w halogen 조명에서는 조광, lamp의 on/off가 리모콘과 외부신호에서의 제어가능한 외부전원 th4를 준비하였다.
olympus의 무한원보정 광학계 uis는 단순히 세계최고 레벨의 상을 실현한 것만이 아닙니다. 경통내에 결상렌즈를 내장한 우수한
광학기술에 의한, 대물렌즈와 결상렌즈의 거리를 변화시켜도 배율의 변화와 상의 열화가 없는 높은 자유도의 광학시스템을 제공합니다. system구축과 장치에의 조합, 개조에 대한 요구에 대응하면서 광학성을 완벽히 끌어내는 것이 가능합니다.
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bx41m-esd |
bx51m |
bx51 |
bx61 |
| 광학계 |
uis 광학계（무한원） |
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대물렌즈 |
uis 대물렌즈 |
| 접안렌즈 |
uis 접안렌즈 |
| 본체 |
조명 |
반사전용
(esd 대응) |
반사전용 |
반사전용/투과겸용 |
6v30w전원내장
light preset스위치
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12v100w 전원내장
light preset스위치
led 전압 표시기
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12v100w 전원내장
light preset 스위치
led 전압 표시기
반사투과전환스위치
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12v100w 전원내장
light preset 스위치
led 전압 표시기
반사투과전환스위치
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| focus |
stroke 25㎜
fine stroke per rotation 100㎛
minimum graduation 1㎛
with upper limit stopper, torque adjustment for coarse handle
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motorized focusing stroke 25㎜
minimum graduation 0.01㎛
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maximum sample height
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65mm |
25mm |
| 경통 |
광시야
（f.n.22）
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도립:쌍안,삼안, tilting쌍안경통
정립: 삼안, tilting 쌍안경통
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초광시야
（f.n.26.5）
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도립: 삼안경통
정립: 삼안, tilting삼안경통
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| 반사경통 |
명시야 外 |
bx-kma-esd
30w halogen
bf/dic/kpo
esd 대응
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bx-rla2
100w halogen(고휘도 광원부착,fiber 조명 가능)
bf/df/dic/kpo
fs,as(with centering mechanism),bf/df연동nd filter
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bx-rlaa
motorized bf/df changeover
motorized as
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| 반사형광 |
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bx-ra2
100w mercury lamp,75w xenon lamp
50w metal halide lamp
6position mirror unit turret(표준:wb,wg,wu+bf 등)
fs,as(with centering mechanism),with shutter mechanism
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bx-rfaa
motorized 6 position turret
built in motorized shutter with fs,as
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| 투과조명 |
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100w halogen
abbe/long working distance condensers
투과조명 filter(lbd,nd25,nd6)내장
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| revolving nosepieces |
for bf |
sextuple with esd treatment |
sextuple,centering sextuple(motorized sextuple:optional) |
motorized sextuple centering quintuple |
| for bf/df |
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quintuple, centering quintuple, sextuple(motorized quintuple optional) |
motorized quintuple |
| stage |
coaxial left(right)handle stage:76(x)x52(y)㎜, with torque adjustment
large-size coaxial left(right)handle stage:110(x)x105(y)㎜
with lock mechanism in y axis
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bxfm |
bxfm |
| 광학계 |
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uis광학계(無限遠) |
| 대물렌즈 |
uis 대물렌즈 各種 |
| 접안렌즈 |
uis 접안렌즈 各種 |
| 경통 |
uis 경통 各種 |
| revolving nosepieces |
uis revolving nosepieces |
| microscope frame |
stroke 30㎜,rotation of fine focus knob:200㎛、
minimum adjustment gradation 2㎛
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| illuminators |
bx-rla2:
100w halogen, etc
bf/df/dic/kpo
bx-ura2:
100w 수은lamp 등
fluorescence illuminator
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bx-kmas:
100w halogen
fiber illumination
bf/dic/kpo
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BX41M-ESD dimensions (unit:㎜) |
BX51M dimensions (unit:㎜) |
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BX51 dimensions (unit:㎜) |
BXFM-S dimensions (unit:㎜) |
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